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产品介绍

  设备用途:

  该机主要适用于超高精密零部件的双面研磨抛光,光学晶体材料、硅片、砷化镓片、刀片、金属件、石英及其他硬脆材料等高平面度、高平行度要求的双面高精度研磨抛光。


  设备原理:

  1、本系列研磨机为超高精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效率高。

  2、本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。


  设备特点:

  1、本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。

  2、采用四个电机同步驱动,变速范围更广,动动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料用研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。

  3、控制系统中采用CNC、彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护功能。

  4、本系列研磨机有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm,平行度0.002mm、平面度0.001mm范围内。


  设备规格:

型号YM-D380XYM-D610XYM-D910X
研磨盘(外径*内径)∮380*∮140*12t∮610*∮200*12t∮635*∮240*12t
工件最大加尺寸∮130mm∮200mm∮280mm
工件加工平面度(25mm)±0.1u以内±0.1u以内±0.2u以内
工件加工平行度(25mm)±0.2u以内±0.2u以内±0.4u以内
工件粗糙度(石英材料) 0.4nm以内0.4nm以内0.4nm以内
研磨盘修面后平行度±0.1u以内±0.2u以内±0.2u以内
游轮规格M2Z73M2Z115M2Z195
游轮数量555
下研磨盘转速0-100rpm0-90rpm0-70rpm
下研磨盘电机功率0.75Kw3相380V2.2Kw3相380V3.7Kw3相380V
上研磨盘研磨转速0-60rpm0-60rpm0-60rpm
上研磨盘电机功率0.4Kw3相380V1.5Kw3相380V1.5Kw3相380V
上研磨盘修面转速0-100rpm0-90rpm0-70rpm
上研磨盘修面电机功率0.4Kw3相380V0.47Kw3相380V0.75Kw3相380V
外齿轮转速0-30rpm0-30rpm0-30rpm
外齿轮电机功率0.4Kw3相380V0.75Kw3相380V0.75Kw3相380V
修面机速度200mm/分钟200mm/分钟200mm/分钟
修面机电机100w200w200w
外形尺寸800*1200*2300mm1000*1400*2400mm1200*1650*2400mm
重量1130kg2100kg2330kg


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